在微电子生产工艺的无尘车间内，根据产品的生产流程将无尘车间划分为换鞋区、风淋室、货淋室、半成品区、成品装配区、成品包装区等多个区域。每个区域都达到标准的无尘标准进行技术性配置，这些都是无尘车间标准规范的基本之一。

气流速度及其均匀度检测，是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。
1、室内洁净度的检测：洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。
2、自净时间的检测：通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
3、照度的检测：照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
4、振动的检测：振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。
5、温、湿度的检测：温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。
无尘环境的重要环节是不让微粒子的进入。在每一位工作人员在进入无尘车间前都要换上不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的防静电无尘服、防静电帽、防静电鞋、防静电手套、防尘口罩、无尘布等，并在风淋室利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘车间进行生产工作。
净化车间标准是采用空气洁净技术对微生物污染采取程度不同的控制，以达到控制空间环境中空气洁净度适于各类净化之要求；并提供适宜的温、湿度，创造一个清新、洁净、舒适、细菌数低的空间环境，可提供舒适的气流，室内温度可控制在22℃~26℃，湿度可控制在40%~60%之间，室内空气清新、爽洁，环境舒适；净化室是正压气流(对等级低且相邻的洁净区域压力为+10-15Pa)，可以防止外来污染物的进入，极大地降低了室内洁净率。